Rigaku remporte le Prix commémoratif Diana Nyyssonen du meilleur article
Visualisation non destructive de structures nanométriques grâce à un microscope à rayons X à ultra-haute résolution
Rigaku Corporation, une société du groupe Rigaku Holdings Corporation, a remporté le Prix commémoratif Diana Nyyssonen du meilleur article (ci-après « le prix ») grâce à une méthode révolutionnaire et non destructive de détection des défauts dans les mémoires flash 3D. Cette technologie d’inspection et de mesure (ci-après « la technologie ») repose sur l’utilisation d’un microscope à rayons X à ultra-haute résolution, offrant une visualisation précise et détaillée des structures à l’échelle nanométrique.
From left: Award recipients Kazuhiko Omote, General Manager, X-ray Research Laboratory; and Raita Hirose, Imaging Group, Advanced Analytical Technology Research Department, X-ray Laboratory
Rigaku
Ce prix est attribué à l’équipe ayant présenté la communication la plus remarquable dans les domaines de la mesure, de l’inspection et du contrôle des processus lors des conférences SPIE Advanced Lithography + Patterning. Ces conférences mettent en avant les avancées les plus récentes en matière de technologies lithographiques appliquées à la fabrication des semi-conducteurs.
L’un des défis majeurs sur les sites de production de mémoires flash 3D réside dans la difficulté d’inspecter et de mesurer les structures métalliques intégrées ainsi que les trous extrêmement profonds, appelés « trous de mémoire ».
La technologie développée par l’équipe de Rigaku offre une résolution ultra-haute grâce à l’utilisation des rayons X, avec une limite de détection jusqu’à dix fois inférieure à celle des meilleurs microscopes optiques. En plus de dévoiler des structures nanométriques d’une extrême finesse, elle permet une observation non destructive des dispositifs formés sur des substrats de silicium. Son caractère révolutionnaire a été un élément clé dans l’attribution de ce prix par les conférences SPIE Advanced Lithography + Patterning.
Kazuhiko Omote, directeur général du laboratoire de recherche sur les rayons X et co-auteur de l’article, déclare : « L’intégration de cette technologie dans les équipements de production permettra aux sites de fabrication de mémoires flash 3D d’améliorer leurs rendements et d’optimiser leurs processus. Rigaku prévoit de déployer cette innovation dans un délai d’environ deux ans. »
À l’avenir, Rigaku prévoit d’exploiter cette technologie pour développer de nouvelles innovations, notamment dans l’inspection et la mesure de la conductance des connexions au sein des dispositifs multicouches.
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